摘要：微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。

摘要：介绍了显微干涉系统测量微细图形台阶高度的方法。从理论和设计角度分析了干涉条纹形状、间隔、对比度及稳定性，对该系统进行了实验，实验结果表明，对比度Ｋ＞０．８，测量精度优于８ｎｍ。

摘要：介绍了ＤＭＹ－１型膜厚测量仪的原理与设计，给出了不同情况下膜层厚度测量公式，并对该仪器进行了实验，该仪器的测量精度：对于较薄膜为±２ｎｍ，对一般膜层为被测厚度的±２％～±５％。

摘要：为强化学生对固体废物资源化处理以及以废制废的环保意识,在双碳背景下,设计了以固体废物为原材料制备多孔炭应用于CO_(2)吸附分离研究的综合实验。首先分别以生活垃圾和玉米芯为原材料制备了热解炭,并利用K2CO3活化得到多孔炭吸附材料;然后采用孔结构分析、扫描电子显微镜和傅里叶变换红外光谱对材料进行了综合表征分析,研究了多孔炭吸附分离CO_(2)性能。该实验涉及固体废物基多孔炭材料制备、表征测试和吸附性能探究等多个环节,将基础教学内容与科研热点有机结合,培养学生创新意识,提升学生的综合实践能力及解决实际问题能力。