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基于阳极键合的环形静电谐振器的制作与测试
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《微电子学》2022年 第3期52卷 484-491页
作者:王俊铎 沈文江中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所江苏苏州215123 
设计了一种基于阳极键合的环形谐振器的制作方法,用以简化环形静电陀螺谐振器的制作工艺。采用(100)及(111)顶层硅的SOI,分别通过阳极键合工艺制作了硅基环形陀螺谐振器。分析了不同晶向下频率裂解的产生及对陀螺谐振的影响,同时通过仿...
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基于Au/In键合的静电扭转微镜的设计与工艺研究
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《固体电子学研究与进展》2024年 第3期44卷 252-257页
作者:王俊铎 胡钰玮 吴永强 单亚蒙 钱磊 沈文江中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏苏州215123 西安交通大学机械学院西安710048 
采用Au/In键合技术并引入凸点层设计,制备了用于光通信领域的二维平行板式静电扭转微镜阵列。相较于其他键合技术,Au/In键合实现了低温键合并与硅通孔技术相容。此外,相对于梳齿驱动,采用平行板电容的扭转微镜有助于实现更高的占空比,...
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MEMS静电驱动微镜阵列的设计与工艺研究
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《传感器与微系统》2024年 第10期43卷 113-116页
作者:胡钰玮 王俊铎 单亚蒙 钱磊 于悦 沈文江中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院安徽合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏苏州215123 中国科学技术大学纳米科学技术学院江苏苏州215123 
基于微机电系统(MEMS)工艺,设计并制作了一种应用于光通信领域的二维准静态驱动微镜阵列(MMA)。相比于梳齿驱动,平行板电容式静电微镜更易于形成高占空比的阵列排布,有利于作为光开关矩阵应用在全光交换中。通过设计弹性系数小的“竖蛇...
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基于静电调修的圆盘结构MEMS陀螺仪
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《传感器与微系统》2020年 第5期39卷 71-73,80页
作者:张林欣 王俊铎 沈文江中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院安徽合肥230026 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏苏州215123 
设计了一种采用微机电系统(MEMS)技术的绝缘体上硅(SOI)与玻璃阳极键合工艺的陀螺仪。分析了提高陀螺仪性能的主要手段,结合实际工艺能力,设计了较大电容极板正对面积的器件。利用真空腔、网络分析仪、跨阻放大器、直流电源,进行扫频实...
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197份陆地棉品种萌发期耐盐性鉴定
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《新疆农业科学》2024年 第7期61卷 1574-1581页
作者:刘慧杰 王俊 龚照龙 梁亚军 王俊铎 李雪源 郑巨云 王冀川塔里木大学农学院新疆阿拉尔843300 新疆农业科学院经济作物研究所乌鲁木齐830091 
【目的】鉴定评价陆地棉品种资源萌发期耐盐性,筛选耐盐性优异的种质,鉴定分析耐盐指标,为陆地棉育种改良提供理论支持。【方法】以197份国内外陆地棉品种为材料,以0(CK)、150和200 mmol/L的氯化钠(NaCl)为胁迫处理浓度,测试对照组与处...
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化学封顶剂不同浓度处理对棉花农艺及产量性状的影响
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《新疆农业科学》2021年 第8期58卷 1392-1397页
作者:龚照龙 于可可 郑巨云 杜明伟 梁亚军 王俊铎 艾先涛 李雪源 郭江平 莫明新疆农业科学院经济作物研究所乌鲁木齐830091 中国农业大学农学院北京100193 
【目的】研究新疆南疆棉区缩节胺(1,1-dimethyl-piperidinium chloride,DPC)化学封顶对棉花主要农艺性状及产量性状的影响,为新疆南疆棉花化学封顶技术提供理论支撑。【方法】于2019年在新疆南疆阿拉尔市16团开展田间试验,以人工打顶为...
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3种微生物菌剂对源棉8号生长发育及产量的影响
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《中国棉花》2024年 第2期51卷 4-9页
作者:王俊铎 龚照龙 梁亚军 刁于和 刘海明 李雪源 郭江平 严伟龙 耿世伟 郑巨云新疆农业科学院经济作物研究所乌鲁木齐830091 北京航天恒丰科技股份有限公司北京102401 新疆航天兆丰科技有限公司新疆五家渠831399 
为研究不同微生物菌剂对源棉8号生长发育及产量的影响,2021―2022年设计了随机区组对比试验。对照(CK)为当地常规施肥处理;T1:在对照基础上,每次滴施微生物菌剂“菌临天下”;T2:在对照基础上,每次滴施微生物菌剂“双澡菌露200”;T3:在...
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