摘要：半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本，在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例，介绍了溅射靶材的发展演变，并以靶材使用前后轮廓测量为基础，研究了100～300mm晶圆制造用靶材的利用率。结果表明，常规靶材随着尺寸增加和溅射工艺的严格控制，靶材利用率减小（〈30％）。制备高利用率的大尺寸长寿命靶材，需对靶材的溅射面形貌和靶材厚度等方面进行结构优化设计，经优化设计后的靶材利用率最大可达到50％以上，使用寿命亦显著延长。

摘要：对沉管隧道的国内外发展情况、沉管隧道的防水、地基处理、浮运沉放等技术作了概述 ,文中还将沉管隧道与桥梁、沉埋法与盾构法进行了相应比较 ,指出了沉管隧道的优点及有关顾虑 。

摘要：利用MATLAB下的BODE图进行控制系统串联校正,可以进一步提高利用MATLAB平台下进行控制系统频域分析的能力,通过举例介绍在MATLAB平台上使用频域法进行系统串联校正的理论根据与操作方法 ,给出了用MATLAB进行串联超前校正设计的一般步骤,通过改变系统的开环波德图形状,使之具有满意的性能指标,对工程设计人员有一定的参考价值.

摘要：一、概述集成电路产业作为电子信息产业的核心，是关系国民经济和社会发展的具有基础性和先导性的战略性产业，一直受到国家的高度重视。2014年是我国集成电路产业发展历程中具有里程碑意义的一年，国务院发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立国家集成电路产业投资基金，对于集成电路产业的扶植力度空前加强，整个产业将迎来最快的发展阶段。在可以预见的未来，集成电路产业将成为支撑自主可控信息产业的核心力量和推动“两化”深度融合的重要基础。目前，我国集成电路产业规模位居世界前列，已经形成了芯片设计、制造、封装测试及支撑配套业共同发展的较为完善的产业链格局。

摘要：叙述了国标《三峡枢纽过坝船舶（队）尺度系列》中，三峡枢纽过坝普通驳、半分节驳及其顶推船队；机动驳（货轮）一顶一顶推船队等货运船舶（队）的尺度和有关参数选取的原则及主要过程。

摘要：把Pro/E的虚拟装配技术和运动仿真应用到减速器的设计中,通过利用Pro/E的参数化建模功能,建立圆柱齿轮减速器的三维参数化模型,并且进行了虚拟装配、干涉检验和运动仿真。该技术在机械工程、化工设备、汽车制造等多领域有很强的实用和推广价值。

摘要：结合黄河石（屏）一禹（门口）段煤炭运输船的设计，通过与两种隧道尾船型的对比，在满载、压载两种状态，水深吃水比分别为１．５，１．７，最大水深弗氏数为０．７７～０．８５条件下，进行双尾船型浅水升沉特性的研究与分析．