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复杂形貌亚波长阵列的周期长度测量研究: 收藏
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引用; 《光电子．激光》2013年第9期24卷 1758-1762页; 作者：张斌徐荣祥王培卿潘雪丰陶卫东董建峰陈宝钦宁波大学理学院浙江宁波315211 宁波大学信息科学与工程学院浙江宁波315211 中国科学院微电子研究所北京100029; 设计并建立了一套基于光纤光谱仪的光学测试系统,将由电子束光刻技术制备的一组具有手征结构形貌的二维周期阵列结构作为样品,其由扫描电镜(SEM)测量得到的周期长度分别约为520、570及790nm。测试并研究了二维手征周期结构在白光垂直入...; 设计并建立了一套基于光纤光谱仪的光学测试系统,将由电子束光刻技术制备的一组具有手征结构形貌的二维周期阵列结构作为样品,其由扫描电镜(SEM)测量得到的周期长度分别约为520、570及790nm。测试并研究了二维手征周期结构在白光垂直入射条件下光谱随衍射角的变化规律,以及将衍射光学方法用于复杂形貌的亚波长二维阵列的周期长度测量效果。结果表明,随着衍射角增加,所有样品的衍射波长均向长波偏移;在同一衍射角下,样品的衍射波长与其周期结构具有对应关系。利用正交光栅衍射方程,模拟了白光在垂直入射条件下的衍射光谱变化,以此推算样品的周期尺寸与SEM测得的数据相差小于3%,获得了良好的效果,表明了一般正交光栅衍射方程在复杂形貌结构中的适用性。; 来源：详细信息评论

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