摘要：研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型。结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统。实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm。

摘要：针对压电陶瓷输出位移过小的缺点,采用AE0505D16型层叠式PZT器件作为驱动器,柔性铰链作为导向机构,设计了一种超精密压电式微位移机构.该机构输出位移由原来的11 6μm增加到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移机构进行定位准确度测试,将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位误差由原来的1μm降低到0 01μm,定位准确度得到显著提高.

摘要：研究、设计了一种压电式超精密微定位工作台。此工作台在伺服电机驱动的滚珠丝杠进给系统的基础上 ,采用压电陶瓷作为微位移驱动器 ,柔性铰链为导向机构 ,对工作台运动位置自动补偿 ,实现了超精密定位。文中对柔性铰链机构进行了合理的设计 ,以实现长行程超精密定位。压电陶瓷配合柔性铰链使用使工作台定位精度达到 0 .0 1μm ,可满足精密。

摘要：设计了一种集磁悬浮技术和线性驱动技术为一体的精密磁悬浮进给机构。这种机构采用直线同步电动机对悬浮平台进给机构提供驱动力 ,实现了进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向 ,具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点 ,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要。文章还对磁悬浮力和直线电动机推力进行了分析计算。

摘要：设计了一种压电式微位移补偿机构,采用压电陶瓷作为微位移驱动器,柔性铰链为导向机构,对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿,实现了工作台二次精密定位,提高工作台的定位精度。设计的柔性铰链微位移放大器,可使工作台定位精度达0.01μm,满足许多精密、超精密加工场合需要。

摘要：为了提高机床的定位精度,研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台。微定位工作台在滚珠丝杠副驱动的基础上,对工作台进行了二次精定位。给出了工作台的设计简图,并对其动力学模型进行了分析,结合检测装置和微机控制系统,设计了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位控制系统。实测表明,微定位工作台定位分辨率可达到0.01μm,可满足精密、超精密加工的需要。