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面投影微立体光刻系统的开发和研究
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《制造业自动化》2011年 第2期33卷 129-132页
作者：周庚侠 班书宝 吴东岷 顾济华苏州大学物理科学与技术学院苏州215006 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州215125 
面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,...
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