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非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建
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《微纳电子技术》2007年 第7期44卷 45-47页
作者：甄志成 胡明 杨海波 吕宇强天津大学电子信息工程学院天津300072 
根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体...
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