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基于VLD终端的光刻对准标记工艺设计
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《山东工业技术》2015年 第11期 269-270页
作者:肖步文 孙晓儒 甘新慧 周东飞 尹攀无锡华润华晶微电子有限公司江苏无锡214000 
采用VLD终端的半导体器件,在工艺流程上首先需要进行终端制备,然后进行有源区的制备,这就需要在终端制备工艺结束之后,留下后续工艺制造所需要的光刻对版标记,本文设计了一种可以实现套刻的光刻对版标记的工艺,并给出了工艺实现的条件。
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冠肺炎疫情下在校大学生消费行为调查
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《合作经济与科技》2021年 第11期 78-80页
作者: 李淑媛 周凌竹 邢佳 李吉庆沈阳化工大学辽宁沈阳 
突如其来的冠肺炎疫情对各行各业都产生了不小的冲击。为了解疫情对在校大学生的日常消费产生的影响,我们通过设计问卷对沈阳化工大学的287名学生进行了调研,主要调查了疫情期间大学生的消费水平、收支结构、受疫情影响支出、消费习...
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