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轴向二极场MWECR-CVD系统等离子体特性的实验研究
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《核聚变与等离子体物理》1995年 第4期15卷 43-48页
作者:叶超 宁兆元 甘肇强苏州大学物理系薄膜材料实验室 
本实验设计了永磁非对称轴向二极场MWECR-CVD系统,并对系统的等离子体特性进行了研究,获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。
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