摘要：采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台 ,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构。利用磁悬浮技术将工作台悬浮在X、Y导轨上 ,消除了导轨的摩擦和磨损 ;直线电机无接触驱动实现了工件台的精密定位。用UG软件 ,构造了磁悬浮工作台的三维实体模型 ,并进行了机构运动分析仿真 ;用ANSYS软件进行了磁悬浮系统的电磁场分析 ,可得到磁通量密度 ,磁场强度 ,磁力 ,以及能量损耗和漏磁量 ;对磁悬浮工作台进行了有限元力学分析和结论优化 ,并结合实验测试 ,可使工作台在X、Y方向能量满足 0 .0 2 μm的定位精度要求以及达到 0 .1μm调焦精度和 3.0 μrad调平精度的要求。

摘要：根据某车载雷达天线座制动支座和驱动支座的使用情况,分析和比较焊接、铸造的两种结构的特点,决定采用焊接结构,同时采用特殊的焊接结构形式,通过有限元分析软件分析支座的变形和应力,得出支座的最大变形为0.464 mm,都在设计要求的刚度和变形范围之内,满足系统对支座的刚度需求。

摘要：设计了"H"型六维x y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦。计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差,理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求。将应用于特征尺寸0.18μm线宽激光光刻机上。

摘要：激光调阻机是通过激光打点切割,改变电阻体的导电截面积,从而达到把低于目标阻值的电阻体阻值修调到要求阻值允许的偏差范围内,适用于片状电阻器的快速大规模生产.在激光调阻过程中,通过高精度的数字电桥实时监测阻值变化,控制调阻进程,辅之以系统复杂的机械手操作,脉冲激光器高频输出,光束精确定位控制及其它机电操作控制,自动完成每小时十几万支电阻的调修生产,是集光、机、电一体的现代化高科技生产设备.调阻机光学系统主要由三部分组成:1)光源系统,2)光束扫描系统,3)光学监视系统.光源系统包括激光器、光束能量衰减器、扩束器等.作为激光调阻机的加工用光源,其特性参数对调阻效率、精度有直接影响,本机采用Nd∶YAG声光调Q脉冲固体激光器,光束模式为TEM00模.激光调阻时,薄膜电阻材质不同,所需要的激光功率也不同,通过在光路中加入衰减片的方法,可获得稳定的调阻功率.光束扫描系统由双向扫描振镜和聚焦f-θ透镜组构成,前者实现光束按要求偏转,后者对光束进行聚焦,使其焦点位于电阻片表面.聚焦镜头由多片透镜组成,除有普通光学系统的一般要求外,还要求该镜组达到扫描距离与扫描角度成线性关系.光学监视系统包括分光镜、变焦镜头、CCD相机和照明光源等.分光镜经过特殊镀膜处理,以实现对不同波长光的透过及反射要求.调阻用的激光是单色光,f-θ聚焦镜组在设计时无须考虑消色差.照明光源采用高亮度红光二极管,可获得清晰的观察效果.(OE33)