摘要：针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。

摘要：为研究真空比对标准装置的性能,减少真空计量过程的不确定度。通过实验对真空比对标准装置的极限真空度、漏率、动态稳定度和体积膨胀比进行了研究,分析了该装置的不确定度影响因素。针对标准装置仅能手动操作、真空规计量过程复杂、人工数据处理繁琐的情况,基于Labview 8.2开发平台,依据真空比对校准装置的基本工作原理和真空规检定/校准规程规范,开发了真空规检定/校准程序,覆盖了各种真空规的检定/校准,给出一种多个被检器并行计量的模块化结构,实现数据的自动处理,原始记录和证书的批量生成。

摘要：介绍了真空比对校准装置的测量原理和工作方法,动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法等三种方法,满足了拓宽量程的需求。测控系统是真空比对法校准装置的核心系统,开发了基于虚拟仪器LabVIEW软件的控制程序,并在真空校准装置中的主标准器电容薄膜规和磁悬浮转子规等中得到了应用。详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计。实现了数据的自动采集和保存。提高了校准装置的自动化水平和工作效率。该装置可以对1×105～5×10-4 Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的真空标准装置。

摘要：为了解决真空计在线校准的问题,研制出一种真空计在线校准系统。真空计在线校准系统通过优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题。通过对在线校准技术的研究,采用比较法校准方法,以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准,解决了校准条件与使用条件基本一致性问题,可以减小量值传递过程产生的不确定度,保证测量的准确性和可靠性。真空计在线校准系统可实现(105~10-5)Pa范围内的真空计的在线计量,相对扩展不确定度不大于13%。