摘要：阐述了分步光刻机的发展方向和国内现状，就０５μｍ分步光刻机的设计难点和所采用的关键技术作了进一步的分析。提出了关键技术所采用的设计方案，并对影响、难度最大的工作台技术、自动对准技术、投影镜头技术等的设计原理进行了研究。还对系统的套刻精度进行了分析和测算。

摘要：本文通过对电容组装机束腰封口机构精度分析，从理论上对束腰封口的可靠性给予了剖析；并在分析连杆组误差时引出了独立变量法；同时从设计理论上结合实际问题做了凸轮曲线的修正。

摘要：引言 振动料斗是带有电磁振动器的振动上料装置,其在电子工业中应用非常广泛。由于电子工业的零器件、外形尺寸、强度、刚度都很小数量又很多,所以其可以在振动料斗的螺旋料槽上获得各种规律的运动和定向传送。 振动料斗具有效率高、结构简单、稳定可靠、经济实用和安装调整方便等特点。但是料斗设计的主要参数难以确定,最佳的上料进度和上料率以及最好的工作状态就不易得到。为此本文对最佳工作状态下的参数设计做一些探讨。