摘要：固体氧化物燃料电池(SOFC)系统具有高能源效率和使用可再生燃料的可能性,将在未来的可持续能源系统中发挥重要作用。过去几年燃料电池的发展很快,但在成本、稳定性和市场份额方面,该技术仍处于早期发展阶段。在以天然气为燃料的SOFC系统中,燃料的重整过程和燃料利用水平都可能影响系统运行的稳定性、热量和能量平衡,从而影响系统的使用寿命、输出功率和效率。因此,对燃料重整过程的设计与控制对有效的SOFC电池运行具有重要意义。对天然气在SOFC系统中的重整器配置方式(包括外重整和内重整)、重整参数和重整燃料利用方式进行了详细的综述分析,并对未来天然气SOFC系统的发展进行了展望。

摘要：归纳锂离子电池组结构设计的要点,包括冷却介质的流通方式、进出口设置和电池的排列。总结现有电池冷却和预热技术的优缺点。空气冷却系统结构简单、应用广泛,但效果较差;液体冷却系统效果显著,能耗较大、密封要求高;相变材料的应用需要提高导热率和比热容;热管冷却系统结构紧凑,配合风机冷却效果更佳。相对于内部加热系统,电池组外部加热系统结构简单,但加热速度较慢。冷却/加热一体化电池组热管理系统的开发,将是研究的方向。

摘要：本文运用正交试验法设计电池组风冷结构参数优化试验方案,研究电池组间距递减幅度、上集流板倾斜角度、下集流板倾斜角度等结构参数的变化对电池组温度场、流场以及进出口压差的影响,确定了电池组最优结构:间距递减幅度0.3 mm、上集流板倾斜0°、下集流板倾斜5°;运用实验和仿真的方法,研究具有最优结构的电池组分别在0.5 C、1 C、2 C倍率放电过程的温度变化特性,电池组的最高温度及温度场一致性均能满足要求。

摘要：风冷系统因结构简单、成本低等特点,在热管理系统中占据重要地位。目前常规的风冷热管理设计方法存在重复性工作多、设计时间长的缺点。本文提出空气流动风阻网格模型结合热力学模型仿真的设计方法,先采用空气流动风阻网格模型获得优化的电池结构,再采用热力学模型进行仿真求解,获得优化的电池模组的流场和温度场分布特性。仿真结果验证了优化结构的准确性。优化结果表明,“C”字形结构更有利于提升模组内单体电池冷却效果的一致性,并且优化后的“C”字形结构进一步提升了电池模组内单体电池温度场的一致性。此外,计算结果发现模组内空气流动方向为上进下出时可进一步降低模组内单体电池的最高温度,提升单体电池温度场的一致性。

摘要：随着集成电路器件集成度的提高,晶圆尺寸和表面布线层数不断增加,特征尺寸不断减小,对晶圆表面的平整度提出了更高要求。作为唯一可以实现全局平坦化的方法,化学机械抛光(Chemical-Mechanical Polishing,CMP)成为晶圆制造过程的重要工艺。在各部件和化学品的协同作用下,化学机械抛光质量受到多个因素影响,介绍了抛光液和抛光终点检测(Endpoint detection,EPD)技术的研究新进展,着重阐述了抛光液在磨粒、化学添加剂和绿色环保方面的国内外研究方向,以及终点检测方法的几种新思路,展望了化学机械抛光技术的开发方向。

摘要：随着5G、物联网、自动驾驶等新型产业的兴起,人类社会将产生海量的信息数据,因而极大促进了存储芯片产业的快速发展。3D NAND作为存储芯片的主流技术,器件结构具有多层垂直堆叠、高深宽比等特点。在其不同技术节点的产品生产加工过程中,设备选型与数量配置对芯片生产线的规划设计具有重要影响。文章从3D NAND中的X-tacking技术出发,分析了化学机械研磨(CMP)工艺及设备配置的相关问题:通过对CMP工艺不同制程特点的分析,确定了其对不同设备的选型配置问题;研究了3D NAND不同技术节点下CMP的制程要求,对比分析得出了其相应的设备数量配置关系。研究对3D NAND项目的设备选型和数量配置提供理论依据和指导,对项目前期设计组线提供支撑。