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准分子激光器温度控制系统设计: 收藏
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引用; 《量子电子学报》2015年第4期32卷 431-437页; 作者：胡明庆韩晓泉周翊冯泽斌周维虎白路军合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽合肥230009 中国科学院光电研究院北京100094; 设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀...; 设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2℃;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定,因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境。; 来源：详细信息评论

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