摘要：以铁酸铋(BiFeO_3,BFO)作为压力敏感材料,利用其压电特性,将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等MEMS加工工艺制备的硅基底片相结合,设计工艺流程并制备了BFO纳米纤维压电式压力传感器,得到质量较高的传感器样片.分析工艺流程,得到工艺顺序为先刻蚀硅腔260μm,接着制备电极,再刻蚀硅腔90μm,最后纺丝纳米纤维;在一定条件下纤维取向最优的实验参数是推进速度、电压、接收距离和极板间距分别为0.3 m L/h、19 k V、14 cm和10 cm,为铁电材料在微器件上的应用提供了参考.

摘要：给出了基于ICL7109设计的钢水测温仪的硬件电路结构和温度计算方法。该系统以ICL7109为核心,采用S、R、B、WRe3/25 4种热电偶实现对钢水接触式断续测温,通过AD590实现冷端温度自动补偿、优化电路关键参数、强化抗干扰措施、简化温度计算方法,使系统具有结构简单、测温准确、测温范围宽的特点。