摘要：Safe Delivery Resource(SDS)是针对大规模集成电路制造工艺所用砷烷、磷烷、乙硼烷、三氟化硼等电子特种气体而开发的一种微负压储运和应用技术。SDS技术的出现克服了传统高压存储电子特种气体存在泄漏风险的难题。SDS技术所用吸附剂从微孔沸石分子筛到球形树脂基活性炭再到单块碳,每一次吸附材料的转变都显著提升单位体积气体介质的存储容量。目前,第四代SDS技术电子特种气体容量在满足长时间、高通量应用的同时进一步完善了其安全性。

摘要：在常温下,八氟环丁烷是一种无毒气体,具有较低的温室效应指数和适宜比例的碳/氟比,被广泛用作制冷剂以及半导体芯片制造工艺中的蚀刻剂和清洗剂。随着低纳米制程芯片的飞速发展,对八氟环丁烷纯度的要求越来越严苛,给高纯八氟环丁烷的纯化工艺带来了极大挑战。综述了现阶段八氟环丁烷的制备方法和纯化方法:(1)工业上广泛用于合成八氟环丁烷的方法是四氟乙烯二聚法;(2)八氟环丁烷的纯化方法包括精馏、吸附、化学转化和膜分离。通过单一的纯化方法很难得到电子级八氟环丁烷,需要多种纯化技术联合使用才能得到纯度>5N级的八氟环丁烷。

摘要：特种气体产品用途广泛并且涉及各个领域,然而在产品运输、储存及日常使用等各个环节中却存在一定的安全隐患,因此特种气体包装容器就显得尤为重要。特种气体包装容器主要有两种,一种是正压式包装容器,一种是负压式包装容器,其中负压式包装容器安全性能更高。