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提高压力传感器过载响应速度的研究
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《仪表技术与传感器》2015年 第6期 14-16,19页
作者：李颖 张治国 刘剑 张哲 张娜 郑东明 梁峭 祝永锋沈阳仪表科学研究院有限公司辽宁沈阳110043 
介绍了一种提高硅电容压力传感器过载回零响应速度的方法,通过在传感器硅可动极板上设计、制作快速导油微结构,实现了传感器过载回零响应速度的大幅度提升,解决了传感器设计中一项关键技术难题,使硅电容压力传感器真正达到了实用化程度...
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