摘要：设计了一个取样位置能在射频辉光放电等离子体电极间自由移动的取样装置，用质谱计测量了SiCl4等离子体的离子信号.提出了一种线性拟合的方法用于计算SiCl4等离子体的消耗率,利用测量的离子信号，计算出了SiCl4等离子体中SiCln（n=0～2）中性基团的空间分布。实验结果表明，可移动质谱取样装置的设计是合理的；用线性拟合方法得到的等离子体消耗率和中性基团的相对密度，比以前的方法得到的更精确。

摘要：利用自行设计的可移动Langmuir探针装置对PECVD系统中Ar等离子体中的电子平均能量和电子浓度随各工艺条件的变化规律进行了研究;并成功获得了Ar等离子体中的电子平均能量和电子浓度的轴向分布和径向分布规律。此外,文中还对电子浓度和电子平均能量随各工艺参数的变化规律进行了系统的理论分析。