摘要：深反应离子刻蚀(DRIE)设备,主要应用于MEMS器件制造中Si材料的深槽刻蚀[1].介绍了一种用于硅材料的高深宽比反应离子刻蚀设备,采用ICP技术,刻蚀深宽比≥25∶1.着重阐述了该设备的结构组成、设计方法及控制方法.

摘要：针对国内晶体硅太阳能电池生产厂设备自动化程度低、管理分散以及生产效率低下等问题,本文提出一种基于CAN总线的光伏设备智能监控系统,用于对大批光伏设备实行统一管理和实时监控,以实现整线光伏设备的统一管理和自动化运行,提高生产效率和降低生产成本。并分析介绍这一监控系统的特点、系统结构以及系统的设计和实现。

摘要：设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用低功率冷测和大功率热测实验对比了其性能。结果表明,导电氧化的加工件性能要明显优于老化件,其低功率冷测传输效率可达99.9%,返回损耗降低至-29.12 dB,大功率热测实验表明,采用导电氧化工艺的模式转换器镀膜质量要整体优于老化件的镀膜质量。

摘要：本文针对国内开展集成电路装备验证线技术研究、项目试点“靶场”建设等实际需求,详细分析了集成电路装备验证线的组成结构及其标准体系架构。依据国内外相关标准体系建设的现状,设计了涵盖通用基础、研制生产、产品、检测及评价等4个方面的技术标准体系,并针对每个方面进行深入剖析,提出部分标准的技术框架。本标准体系设计填补了国内尚无8英寸装备验证线标准体系的空白,可为国产装备验证评估提供依据与参考。

摘要：根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀性。