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薄膜铌酸锂片上集成多维复用光子器件(特邀)
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《激光与光电子学进展》2024年 第11期61卷 29-49页
作者:田永辉 袁明瑞 秦士敬 李浩 王思璇 肖恢芙兰州大学物理科学与技术学院甘肃兰州730000 
铌酸锂(LiNbO_(3))材料因其优异的电光、声光和非线性光学特性,被视为实现高性能集成光电子芯片的理想材料平台。近年来,随着晶圆级绝缘衬底上的铌酸锂(LNOI)薄膜的成功制备和微纳加工技术的突破,LNOI平台在大规模高速光电子器件集成方...
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