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高精度激光加工设备隔振系统的设计
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《科学技术与工程》2013年 第21期21卷 6082-6087页
作者：貊泽强 余锦 聂树贞 刘洋 葛文琦 张雪 郭广妍 王治昊 王昊成中国科学院光电研究院北京100094 中国科学院研究生院北京100190 
随着激光加工精度要求的不断提高,加工设备系统的稳定性问题受到越来越多的重视。利用有限元方法对高精度激光加工设备的固有频率和谐响应进行了分析,并采用空气弹簧对整个系统进行减振处理。研究结果表明该激光加工设备具有较高的固有...
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