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反应溅射镀膜的等离子体发射控制系统设计
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《计算机测量与控制》2011年 第7期19卷 1608-1610,1618页
作者：肖劲宇 和军平Maxford Technology LLC Santa Clara 哈尔滨工业大学深圳研究生院广东深圳518055 
介绍了一种基于Allen-Bradley可编程控制器的等离子体发射监控闭环控制系统;在介绍溅射镀膜工作原理的基础上,分析了影响镀膜性能的多个因素,提出了等离子体发射监控反应溅射镀膜的控制方案;进而,具体介绍了等离子体发射监控系统的传感...
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