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LIGA技术制作Fresnel波带片的研究
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《微细加工技术》1999年 第1期 62-67页
作者:洪义麟 田扬超 刘刚 付绍军 胡一贯 霍同林 陶晓明 阚娅中国科学技术大学国家同步辐射实验室 
简要介绍了利用LIGA技术中同步辐射光刻、微电铸技术制作α粒子编码成像波带片的研究,讨论了编码波带片的结构和影响波带片的平面和层析分辨率的参数。根据实验要求设计和研制了种α粒子编码成像波带片。
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