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一种单腔式微型隔膜泵的结构设计及流量分析
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《真空》2016年 第6期53卷 12-14页
作者：何云鹏 郅静刚 臧辰鑫 蔺增东北大学机械工程与自动化学院辽宁沈阳110819 
针对市场的实际需求,设计研制了一台流量为200mL/min的单腔式微型隔膜泵,文章介绍了流量设计计算的基本原理和泵的结构组成,利用搭建的微型泵流量测试平台进行了测试。结果表明不同电压下隔膜泵的出气速率随电压成线性关系,所设计的微...
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