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B含量对(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜微观结构与性能影响: 收藏
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引用; 《西安工业大学学报》2021年第5期41卷 507-514页; 作者：张军鹏徐大鹏苏霖深房晓彤邵文婷西安工业大学材料与化工学院西安710021; 为了研究B含量对(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜微观结构和力学性能的影响,文中采用放电等离子烧结技术制备了B靶,并与AlSiTiCrNbV合金靶材进行镶嵌设计,向真空腔室通入N2进行反应磁控溅射,制备了(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜,分析了薄膜物相结构...; 为了研究B含量对(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜微观结构和力学性能的影响,文中采用放电等离子烧结技术制备了B靶,并与AlSiTiCrNbV合金靶材进行镶嵌设计,向真空腔室通入N2进行反应磁控溅射,制备了(AlSiTiCrNbVB_(x))N薄膜,分析了薄膜物相结构、元素含量、形貌、成分以及硬度。试验结果表明:随着B元素含量的增加,薄膜由面心立方结构(FCC)转变为非晶结构;当原子数分数x(B)=18.20%时,硬度达62.32 GPa,其硬度接近人造金刚石。; 来源：详细信息评论

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