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一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文)
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《纳米技术与精密工程》2011年 第3期9卷 221-227页
作者:彭玉鑫 高伟 金子純史 荒井義和 清水裕樹 冈本幸一 千叶美帆 相泽周二日本东北大学纳米机械系纳米测量与控制实验室 日本NEC/TOKIN株式会社 
提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进...
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