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一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文): 收藏
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引用; 《纳米技术与精密工程》2011年第3期9卷 221-227页; 作者：彭玉鑫高伟金子純史荒井義和清水裕樹冈本幸一千叶美帆相泽周二日本东北大学纳米机械系纳米测量与控制实验室日本NEC/TOKIN株式会社; 提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进...; 提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进行了实验研究.结果表明,微工作台体积小(20 mm×10 mm×3 mm),可实现6 nm的精确定位,最高驱动速度可达5.4 mm/s,最大行程可达20 mm.; 来源：详细信息评论

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