摘要：受鱼类侧线结构的启发,设计了一种双T型结构的MEMS芯片。对该结构的核心元件T型梁进行最大应力与谐振频率分析,确定梁参数和压敏电阻的位置及其大小、尺寸。通过信号提取电路,对接收到的微弱电压变化信号值放大滤波后进行回波测距实验。测试结果得出:所设计的水听器可对水下障碍物进行距离探测,并实时LCD显示。

摘要：提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用"四悬臂梁-质量块"结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比,得出该传感器具有更高的抗横向耦合性,约为八悬臂梁结构的30倍。

摘要：基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称"八悬臂梁—质量块"结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出,有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明:该加速度计的灵敏度为1.1381mV/gn,频响范围为0～1000Hz,灵敏度约为单电桥检测法和串联电桥检测法加速度传感器灵敏度的4倍。叠加电桥检测法为压阻式传感器提高灵敏度提供了一种新思路。

摘要：提出了一种结合MEMS技术、仿生原理和压阻原理的同振柱型矢量水听器,即由二维仿生水听器和声压水听器组合而成的柱体。在声学理论基础上详细介绍了该水听器的封装设计及制作过程,在国防水声一级计量站对该矢量水听器进行校准实验,实验结果表明:该同振型矢量水听器的工作频带范围为0～3 kHz;X通道灵敏度-177.9 dB(2 kHz),Y通道灵敏度-175.4 dB(2 kHz),声压通道灵敏度-175.8 dB(2 kHz);具有很好的"8"字指向性;可承受3 MPa压力。此新型MEMS同振矢量水听器适用于民用船只避障,渔业捕捞,海洋勘探等领域。

摘要：为实现传感器数字化,设计出一种通过单片机控制的模数转换系统。系统通过对振动信号的传播过程进行处理,包括信号滤波、模数转换以及转换后数字信号的处理关键技术的研究,实现了模拟信号的数字化。通过对数字传输接口的发射接收设置,将实际振动信号与接收信号进行对比,验证了数字化结果的准确性。

摘要：针对T型水听器灵敏度高,低频特性好,抗干扰能力强等优点,设计开发了一种单片机控制的水下声波测距系统。以声波在水中的传播速度为确定条件,使发声换能器发射声波,水听器接收声波,通过AT89S52单片机对声波测距系统的发射、接收时间的控制,计算出障碍物与水听器之间的距离。测试结果表明:系统可以稳定接收反射声波信号,实现短距离测量,测量误差小于1%。

摘要：With the springing up of the MEMS industry,research on accelerometers is focused on miniaturization, integration,high reliability,and high resolution,and shares extensive application prospects in military and civil *** with the traditional single cantilever beam structure or ＂cantilever-mass＂ structure,the proposed structure of ＂8-beams/mass＂ with its varistor completely symmetric distribution in micro-silicon piezoresistive triaxial accelerometer in this paper has a higher axial sensitivity and smaller cross-axis *** ANSYS, the process of structural analysis and the manufacturing flow of sensing unit are *** dynamic testing conditions, it can be concluded that the axial sensitivity of x,y,and z are Sx-48μV/g,Sy = 54μV/g and Sz = 217μV/g respectively,and the nonlinearities are 0.4%,0.6%and 0.4%.