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YAG激光扫描刻槽机
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《应用激光》1990年 第3期10卷 101-103页
作者:王又良 施亚玲 李树森 龚焕明 邵福根 葛海坤上海市激光技术研究所 上海无线电一厂 
本文设计了一种新型扫描激光刻槽机。分析了刻槽机的激光扫描系统和机械传动系统。YAG激光刻槽机每分钟能刻20个电阻,扩阻率500~3000倍;槽宽50μm;阻值精度±0.5%(R1MΩ)。
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