摘要：利用能量为6 MeV、注量为2.3×10^(15)Au/cm^(2)的Au离子对磁控溅射法制备的Cr和CrNb涂层进行离子辐照。采用XRD、SEM及TEM等分析技术研究辐照对4种不同Nb含量的涂层微观结构和力学性能的影响。结果表明:随着Nb含量增加,晶格畸变导致衍射峰偏移,晶体转变为非晶,经离子辐照后涂层相结构出现了结晶现象。辐照令4种涂层表面形貌更光滑,同时TEM分析发现辐照区域微观组织结构变化不明显,表现出良好的抗辐照性能。Nb元素加入到Cr基涂层中,能提高涂层硬度模量和塑性变形能力,其中Cr_(0.92)Nb_(0.08)涂层具有最大值(硬度13.7 GPa、弹性模量204.2 GPa),经过离子辐照后的涂层均表现出较沉积态更高的硬度模量,这是辐照硬化导致。Cr基涂层中加入Nb元素能增加涂层力学性能,并未降低涂层的抗辐照性能,同时Cr_(0.82)Nb_(0.18)涂层在4种涂层中的抗辐照性能较好。