摘要：化学机械抛光中晶圆表面材料去除的非均匀性是影响抛光质量的主要因素之一。材料去除非均匀性直接影响上层布线的质量。通过对抛光垫与晶圆表面不同接触状态下的摩擦学分析,得到抛光垫与晶圆不同接触状态下摩擦系数。采用归一化摩擦系数方法,简化了抛光垫与晶圆之间的接触行为,并建立了基于接触机理的化学机械抛光有限元模型。分析了不同工艺参数下晶圆表面应力分布以及层间剪切应力分布规律,得到了工艺参数对表面材料去除非均匀性和低k介质层材料剥离的影响规律。采用因子设计方法分析了影响晶圆表面材料去除非均匀性的工艺参数的因素水平,为化学机械抛光工艺优化提供了理论依据。

摘要：目的探讨体外循环(CPB)下冠状动脉旁路移植术(CABG)中患者呼吸末二氧化碳(ETCO_2)与血浆B型脑钠肽(BNP)的变化及其意义。方法选择2017年9月至2018年3月在云南省阜外心血管病医院在体外循环下冠状动脉旁路移植术的42例患者为研究对象。根据体外循环时间分为2组,A组:体外循环转流时间120 min。并于术前(T_0)、体外循环前(T_1)、停循环时(T_2),停循环后1 h(T_3),停循环后4h(T_4)、停循环后12 h(T_5),停循环后24 h(T_6)、停循环后48 h(T_7)采用测定BNP浓度及以主流式方法监测ETCO_2值,观察其变化,并进行相关性分析。结果(1) 2组患者术前及术后的年龄、性别、氧合指数、APACHE Ⅱ评分及NYHA心功能分级的差异无统计学意义(P>0.05);(2)经完全随机设计资料的方差分析:2组BNP不同时间差异有统计学意义(P0.05),其余各个时间点差异均有统计学意义(P<0.05)。根据Pearson相关性分析,ETCO_2在体外循环后T_4至T_7内与BNP具有相关性;A组各时间点(r在-0.623^-0.719之间,P<0.05);B组各时间点(r在-0.702^-0.787之间,P<0.05)。结论(1)体外循环下冠状动脉旁路移植术在体外循环后4~48 h内ETCO_2和BNP具有负相关性;(2)ETCO_2可作为体外循环下冠状动脉旁路移植术围手术期的一个重要的无创监测指标。