摘要：针对石英晶体各向异性的特点,设计了一种驱动梁为双"W"截面形状的石英音叉微机械陀螺,通过在驱动梁表面凹槽两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了驱动梁内部电场的激励效率和陀螺灵敏度。采用有限元仿真的方法,分析了不同截面形状的驱动梁压电激励力的相对大小,优化设计了陀螺芯片结构参数。依据陀螺芯片的结构,设计了合理的工艺方案并在3英寸石英圆片上制作出了三种驱动梁截面形状的陀螺器件,测试结果表明,相对于矩形驱动梁截面的陀螺芯片,双"W"形驱动梁截面的陀螺芯片的灵敏度提高约60%。

摘要：石英微机电陀螺是一种利用科里奥利(Coriolis)效应的振动陀螺,工作时敏感芯片处于谐振状态,机械耦合误差是其主要误差源。分析了敏感芯片机械耦合误差因素,提出了驱动与检测模态解耦设计、振动隔离设计及轴对称质量平衡设计改进方案,实验结果表明,通过改进设计,有效抑制了敏感芯片机械耦合误差,提高了陀螺的精度及环境适应性。

摘要：设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器,该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100kPa内传感器输出频率与输入压力的关系,经线性拟合后得出其最大相对非线性误差为0.09%。采用石英深槽湿法腐蚀的方法加工出了芯片3个元件结构,并经镀膜及键合等后工序制作出了传感器芯片,其性能实测值与仿真结果基本吻合,验证了结构及工艺方案的可行性。

摘要：动力调谐陀螺仪伺服系统在捷联系统中有着广泛的应用,传统的伺服回路只能实现陀螺仪在正常工作状态下的力平衡,而在静止和启停过程中陀螺转子处于自由状态,从而影响动力调谐陀螺仪的性能和使用寿命,并限制了其应用领域。根据动力调谐陀螺仪伺服技术的相关理论以及多变量自适应数字控制技术,设计动力调谐陀螺仪数字化全状态伺服回路的总体方案和控制算法。仿真和试验表明设计是正确的。

摘要：石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态。敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3~21 kHz。敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏移误差,陀螺的零位偏移误差可达0.5(°)/s。该文分析了敏感芯片模态共振误差机理,提出通过结构错频设计避免外部环境特定频率对敏感芯片的影响,从而抑制了零位偏移误差,零位偏移误差减小到约0.03(°)/s,提高了陀螺的振动环境适应性。

摘要：针对射频识别系统中的多卡碰撞问题,研究了EPC二进制搜索算法,结合工程实践分析了其不足,提出并实现了改进的EPC二进制搜索算法,提高了多卡识别效率。目前应用该算法的射频识别系统已成功应用于多项实际工程。

摘要：该文阐述了专门针对压力传感器的前置信号电路的设计.本论文从误差分析,力传感器的选定和压电传感器的设计三个方面阐述该电路设计思路,重点阐述了压电传感器部分的设计过程,参数计算、误差及温漂控制,对部分电路进行了系统仿真,仿真结果表明设计方案工作稳定可靠、噪声小,抗干扰能力强,能保证该信号达到后续电路的接收要求.

摘要：模拟电路噪声的消除更多地依赖于经验而非科学依据.设计人员经常遇到的情况是电路的模拟硬件部分设计出来以后,却发现电路中的噪声太大,而不得不重新进行设计和布线.这种'试试看'的设计方法在几经周折之后最终也能获得成功.不过,避免噪声问题的更好方法是在设计初期进行决策时就遵循一些基本的设计准则,并运用与噪声相关的基本原理等知识.本文将探讨12位A/D转换系统中的不同噪声源(包括器件噪声、发射噪声和传导噪声)及其消除方法.