摘要：用自行设计的大面积CdTe薄膜沉积设备在混合氩氧气氛下,采用近空间升华法(CSS)沉积大面积的CdTe薄膜,研究衬底温度均匀性对薄膜微结构和厚度均匀性的影响,利用XRD,SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜无择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1μm左右.用此薄膜制成CdS/CdTe/ZnTe∶Cu小面积太阳电池,经过I-V测试,其转换效率已达8.35%.

摘要：通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程,并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场,在混合氩氧气氛下,用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300mm×400mm的大面积CdTe多晶薄膜,利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌,结果表明:CdTe薄膜呈(111)择优取向,且薄膜总体致密均匀,晶粒大小约为1μm左右。用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的CdS/CdTe/ZnTe:Cu小面积太阳电池效率相差不大,说明薄膜的均匀性较好。