摘要：圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用。分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需要,传统的组装式探卡将不能适应未来的测试要求;和传统探卡的组装方法相比,MEMS技术显然更适应当今的IC技术。综述了针对MEMS探卡不同的应用前景所提出的多种技术方案,特别介绍了传感技术国家重点实验室为满足IC圆片级测试的要求,针对管脚线排布型待测器件的新型过孔互连式悬臂梁芯片和针对管脚面排布型待测器件的Ni探针阵列结构的设计和制造。

摘要：要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器、纳米电路等系统中,首先要解决材料的定位操作问题。在自行设计的几种电极的基础上,采用介电泳技术对SiO2微纳米材料进行操控,可以实现材料的沿电场方向的排布和电极间的跨接,为解决纳米结构的定位操作做了有益的尝试。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的ZnO纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性并取得很好的响应,表明介电泳技术可以很好得实现纳米材料在传感器领域中的应用。

摘要：研究了一种新型微纳无线湿度传感器的研制方法,该传感器是通过介电泳技术把ZnO纳米棒定位在自行设计的微电极中间。ZnO纳米材料具有巨大的比表面积和界面,利用ZnO纳米结构对湿度具有很好的吸附和解吸附性能可以制作一种湿度传感器。通过基本传感特性的测试,证实了该传感器具有良好的重复特性和较高的灵敏度。另外,通过GSM Modem,将该传感器与温度传感器相结合,制成一种家用无线温湿探测系统,能使用户很方便地了解室内的温湿信息。

摘要：要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器等电学系统中，首先要解决的问题是材料的定位操作问题。介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在自行设计的几种电极的基础上，采用介电泳技术对微纳米材料进行操控，可以实现微纳米材料沿电场方向的排布并口电极间的跨接。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性，结果表明介电泳技术可以很好地实现纳米材料在传感器领域中的应用。