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反射相移在Fabry-Perot标准具间距测量中的影响: 收藏
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引用; 《激光与光电子学进展》2020年第9期57卷 82-88页; 作者：余佳音樊静蓝旭辉沈小燕禹静中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 长庆油田分公司技术监测中心陕西西安710021; 基于光学薄膜理论,采用光学特征矩阵法推导了空气隙Fabry-Perot(F-P)标准具高反射膜反射相移与入射角的数学模型,并用TFCalc膜系设计软件仿真分析了入射角范围在0°~3°时反射相移的变化,对数学模型进行了验证。结果表明,反射...; 基于光学薄膜理论,采用光学特征矩阵法推导了空气隙Fabry-Perot(F-P)标准具高反射膜反射相移与入射角的数学模型,并用TFCalc膜系设计软件仿真分析了入射角范围在0°~3°时反射相移的变化,对数学模型进行了验证。结果表明,反射相移与入射角呈指数递增,入射角度在3°时反射相移为2.88×10^(-3)rad。实验搭建了F-P干涉成像光路,测得F-P标准具间距为(2015.50919±0.00002)μm,相对误差限约为8.6×10^(-9);与未考虑反射相移的测量结果[间距为(2015.50864±0.00082)μm,相对误差限约为9×10^(-7)]相比,测量准确度有了明显改善。; 来源：详细信息评论

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