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热式气体质量流量传感器的工作原理及其应用
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《中国计量》2017年 第4期 96-98,106页
作者：苏乾益 王忆南 蕈蔓北京七星华创电子股份有限公司 
一、前言热式气体质量流量传感器是气体质量流量控制器中一个重要的核心部件,对气体质量流量控制器的性能指标,如零漂、准确度、线性、重复度、响应时间等重要指标参数有直接影响。要使气体质量流量控制器的性能指标得到明显改善,首先...
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