摘要：大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm .

摘要：在触针式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是保证触针与被测表面之间“接触测量”的关键部件。本文采用十字片簧弹性支承作为触针的运动支承，并在其特性分析的基础上，进行了参数设计。实验测得：测量力变化率为３５．６Ｎ／ｍ，固有频率达到１９．２Ｈｚ。最后，通过仿真实验得到测量机构运动中回转中心偏移情况。

摘要：由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（ｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传感器的要求、力传感器的设计、检测力传感器的方法，着重介绍了一种采用光学象散原理组成的传感器的固有频率测试系统与方法。

摘要：在大规模集成电路生产中，对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度，自动化的线宽测量仪。阐述了其原理，构成及设计中有关问题。经实验表明：该仪器的重复测量精度≤±０．００５μｍ；测量精度为±０．０２μｍ。

摘要：微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。

摘要：应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。

摘要：原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。

摘要：微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。

摘要：近些年随着社会生产力水平的不断提高,人们的生活日益富足,基本生存条件的满足促使人们产生了更高的精神文化需求。在人类社会的发展历程中,人们创造出了文字、绘画、电影戏剧等各种表现形式的文化产品,这些文化产品在当今的时代背景下得到了愈加广泛的普及。为了进一步促进文化市场的发展,以满足当今时代人们日益增长的精神文化需要,需要采取相关举措对文化艺术的表现形势进行完善。人物形象塑造是评价戏剧表演艺术效果的重要因素之一,为此,对人物形象塑造对戏剧表演艺术效果的影响进行研究。从剧本角度出发,分析剧本撰写中人物形象塑造对戏剧表演艺术效果的影响并提出人物形象塑造建议;从表演角度出发,分析表演过程中人物形象塑造对戏剧表演艺术效果的影响,并提出人物形象塑造建议。

摘要：中国古典舞是由中国戏曲奠定基础而形成的,最先提出这一概念的是中国戏剧家和戏曲舞蹈家欧阳予倩先生,其宗旨是挖掘整理源远流长的中国舞蹈传统宝库,创造新时代的中国传统舞蹈艺术形象。中国戏曲是以唱、念、做、打为主要表现手段的表现性艺术,那么中国戏曲中的戏曲舞蹈则是将唱、念、做、打与手、眼、身、法、步融洽结合。对于中国古典舞影响最深的便是中国戏曲中的戏曲舞蹈。戏曲舞蹈讲究舞姿动作圆润流畅、跌宕起伏、连绵不断、静中有动、动中有静、