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扫描隧道显微镜微位移驱动器(爬行器)的研究
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《电子显微学报》1999年 第5期18卷 569-573页
作者：赵玉清 薛希纯 徐蛟 唐天同西安交通大学电信学院西安710049 
设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的吸附式微位移驱动器（爬行器），针对其基本特性，提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。确定了必要的工艺过程，制作了合适的驱动电路，以及合理的控制程序，在控制程序中引入了...
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