摘要：铌酸锂晶体具有较强的热释电效应,由铌酸锂制作的红外传感器敏感头受到科研人员的广泛关注。将晶片与硅衬底在200°C和压力100N的条件下键合,利用自行设计的磨具将铌酸锂减薄到40微米,磨料由水与刚玉以1∶1的比例制成。本文讨论了铌酸锂键合的过程,减薄的过程及厚度测试,通过拉曼光谱分析残余应力,通过原子力显微镜测试样品表面粗糙度。研究结果表明,通过自行设计的磨具研磨的晶片厚度最大差值7微米,较为均匀;研磨后晶片表面粗糙度为118纳米,较为粗糙;键合后存在一定的残余应力。制作好的铌酸锂晶片符合制作红外传感器敏感头的要求。

摘要：针对不同应用的热敏MEMS器件的界面电路设计高性能放大器,提出建立与CMOS工艺兼容的热敏MEMS器件前置放大器的IP库的概念。通过提取相关热敏器件的典型参数,设计低功耗、低噪声且分别符合精度和速度等特殊要求的前置放大器,对3种不同结构的放大器进行分析研究,并利用Cadence软件,基于CSMC 0.5μm标准CMOS工艺库进行设计仿真。仿真结果表明:3种不同结构的放大器可以用于相应性能要求的热敏MEMS器件中。

摘要：The relaxation oscillation characteristics of a resonant tunneling diode （RTD） with applied pressure are reported. The oscillation circuit is simulated and designed by Pspice 8. 0, and the measured oscillation frequency is up to 200kHz. Using molecular beam epitaxy （MBE） ,AIAs/lnx Ga1-x As/GaAs double barrier resonant tunneling structures （DBRTS） are grown on （100） semi-insulated （SI） GaAs substrate,and the RTD is processed by Au/Ge/Ni/Au metallization and an airbridge structure. Because of the piezoresistive effect of RTD,with Raman spectrum to measure the applied pressure, the relaxation oscillation characteristics have been studied, which show that the relaxation oscillation frequency has approxi- mately a - 17.9kHz/MPa change.

摘要：提出了一种基于共振隧穿二极管(RTD)的矢量水声传感器,传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件,共振隧穿二极管布置在传感器结构中柱体的四周边缘.两个反方向变化的基于共振隧穿二极管的振荡器的输出信号通过信号处理电路预处理后输入微处理器,计算出声源水平方位角和声压.分析并设计了基于共振隧穿二极管的振荡电路、矢量水声传感器物理结构以及制作工艺,讨论了传感器信号处理方法.

摘要：针对高频电光调制器的应用需求,提出了一种基于绝缘体上硅微环谐振腔的P-I-N型电光调制器.利用散射矩阵法描述了微环谐振腔谐振特性机理,结合等离子体色散效应中载流子浓度对硅有效折射率变化的影响,系统分析了微环谐振腔电光调制器的理论模型.在此基础上,利用Rsoft仿真软件对脊型波导截面光场分布进行了仿真分析,得到了光场局域性能较优的脊型纳米波导微环谐振腔设计;结合Sentaurus TCAD仿真软件对不同掺杂浓度下的P-I-N型二极管性能进行了仿真计算,理论得出了Q值仅为5×103时频移量达58.74GHz的微环谐振腔最优电光调制器结构,为电光调制器的深入研究提供了理论参考.

摘要：主要研究一种应用共振隧穿压阻薄膜的G aA s基4梁式微加速度计,设计出共振隧穿薄膜以及G aA s基微加速度计的结构.利用有限元软件A nsys对加速度计进行了模态仿真.讨论了加速度计的加工工艺,并完成了基于加速度计共振隧穿压阻薄膜的压阻特性研究.首次采用控制孔技术制造了G aA s基微加速度计.

摘要：采用大型直剪仪进行黏土与混凝土接触面的单向直剪试验,研究接触面在不同渗透水压力和法向应力作用下的力学特性,并对黏土与混凝土接触面的强度及应力变形特性进行分析,基于双曲线模型提出了考虑渗透水压力作用的黏土与混凝土接触面本构模型。结果表明:接触面的剪应力与相对剪切位移较好地满足双曲线关系,竖向位移表现为剪缩;接触面的抗剪强度与接触土体的饱和状态显著相关,当土体由非饱和状态过渡至饱和状态时,接触面抗剪强度随渗透水压力的增大显著降低;当接触土体趋于饱和时,抗剪强度随渗透水压力增大的降幅随之减小,且与有效法向应力间呈较好的线性关系;模型计算结果与试验结果吻合较好,验证了所提出的考虑渗透水压力作用下黏土与混凝土的接触面本构模型是合理的。

摘要：水下探测器是海洋环境监测的重要设备,为解决传统水下无人探测器续航能力弱的问题,设计了一种新型的低功耗水下探测器。该探测器采用新型集成式传感器,降低了传感器的功耗;具备扩展接口,可搭载其他传感器或推进装置;能量采集模块用于获取探测器周边环境能量,提升探测器续航能力;主控电路采用了低功耗设计,对电路系统各模块的功耗进行精准调控,优化供电逻辑,将功耗降至普通工作电路的1/3,大大提高探测器的集成度和续航能力。

摘要：根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成,矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接入以及对出射光的探测,从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。

摘要：A biomimetic three-dimensional piezoresistive vibration sensor based on MEMS technology is reported. The mechanical properties of the sensor are analyzed and the static and dynamic characteristics of the sensor are simulated by ANSYS Workbenchl2.0. The structure was made by MEMS processes including lithography, ion implantation, PECVD, etching, etc. Finally, the sensor is tested by using a TV5220 sensor auto calibration system. The results show that the lowest sensitivity of the sensor is 394.7μV/g and can reach up to 460.2 μV/g, and the dimension coupling is less than 0.6152%, and the working frequency range is 0-1000 Hz.