摘要：193nm光学薄膜是 10 0nm步进扫描光刻机系统中主要用到的光学薄膜。分析了膜料光学常数的不确定性、高折射率膜材料消光系数、水吸收以及膜层表面粗糙度对薄膜光学性能的影响。结果表明 ,要镀制出反射率大于98 5 %的高反膜 ,必须将高折射率材料的消光系数k控制在 0 0 0 34以内 ,同时膜层表面的粗糙度σ控制在 1nm以内。膜层性能同时还受其使用环境中水气含量及其水气中杂质含量的影响 ,要减少膜层水吸收的影响 ,就必须提高薄膜的致密度 ,采用离子成膜技术 ,或者改变膜层的使用环境。在考虑相关因素的前提下 ,设计了在光刻机曝光系统中主要用到的增透膜、高反膜 。

摘要：用两种不同纯度的HfO2 材料与同一纯度的SiO2 材料组合 ,沉积λ/ 4规整膜系 (HL) 11H形成 2 6 6nm的紫外反射镜 ,发现反射率相差 0 .7%左右。用X光电子能谱法分析了高反膜中表层HfO2 中的成分 ,发现ZrO2 的含量相差一个数量级左右。为确定形成这种差别的原因 ,用辉光放电质谱法测定了这两种HfO2 材料中锆 (Zr)及其钛(Ti)、铁 (Fe)的含量 ,发现Zr是其中的最主要的杂质 ,两种HfO2 材料中Zr含量有一个数量级的差别。说明在 2 6 6nm波段 ,HfO2 中ZrO2 的含量会对HfO2 /SiO2 高反膜的反射率造成影响。根据HfO2 单层膜的光谱曲线 ,推算出了这两种材料的消光系数的差别 ,并用Tfcalc膜系设计软件进行理论和镀制结果的模拟 ,得到与实验测试一致的结果。

摘要：在新工科建设的时代背景下,建筑物理发挥着促进建筑工程技术应用与建筑设计艺术创新相互渗透的桥梁和纽带作用。针对当前建筑学专业建筑物理课程教学中存在的“学生艺术性与技术性思维对立”“理论知识与建筑设计应用脱节”“发散式思维与创新实践能力缺失”三大主要问题,教学团队构建了建筑物理课程“双核三阶”研学模式,引入翻转课堂、课堂研讨、自主选题实验与研究性课程设计作业相结合的教学方法,实现研学融合,促使学生深入掌握、运用、拓展学科知识,培养学生在建筑工程中的知识应用和专业创新能力,训练学生严谨的科学逻辑思维,开阔学生的学科视野。实践证明,以人文化方式讲授理工课程的新思路、新方法以及将研究融入学习过程的研学融合教学新模式,可以使学生的学习积极性、课程参与度和创新实践能力显著提高,并为新工科背景下建筑技术类课程教学模式的探索提供新思路。