摘要：目的研究多波段全介质高反射薄膜的光谱性能、应力特性以及膜层的抗激光损伤性能,获取应力状态良好的大口径薄膜样片。方法选用TiO_(2)、SiO_(2)高低折射率材料,设计并制备500~650 nm、780~830 nm、1050~1080 nm 3波段兼容的介质高反膜。研究单层膜工艺参数,监控波长为560 nm,基于电场强度分布,膜系结构优化为G/(HL)^(8) H(2L)^(4)(1.4H1.4L)^(8) H2L(1.9H1.9L)^(8)1.9 H/A。在不同膜堆之间添加低折射率层来抑制虚设问题,平滑反射光谱,通过离子束辅助电子束蒸发技术在ϕ220 mm的大口径基底上成功制备出性能良好的宽波段大尺寸多层高反射薄膜。结果其反射光谱在可见光500~650 nm波段范围内,平均反射率为99.5%,峰值反射率为99.9%,最低反射率为95.1%;在780~830 nm波段内,峰值反射率为99.9%,平均反射率为99.8%,最低反射率为99.6%;在1050~1080 nm波段内,其平均反射率能够达到99.8%,峰值反射率达到99.9%,最低反射率达到99.7%。大口径薄膜样片不同位置的反射光谱一致性较高。膜层的抗激光损伤阈值为7.1 J/cm^(2),残余应力为–293.59 MPa。结论大口径薄膜样片膜厚均匀性良好,成膜致密,无起皱、龟裂、脱落等现象出现,膜层牢固性较高,具备优良的激光防护性能。