摘要：论述了光刻技术发展的历程、趋势和极紫外投影光刻技术的特性 ,并介绍了极紫外投影光刻原理装置的研制工作。该装置由激光等离子体光源、掠入射椭球聚光镜、透射掩模、施瓦茨微缩投影物镜及相应的真空系统组成。其工作波长为 13nm ,在直径为 0 1mm的像方视场内设计分辨率优于 0 1μm。

摘要：提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10nm.

摘要：介绍研制软Ｘ射线多层膜色散元件的初步结果．结合Ｍ_０／Ｓ_１、Ｗ／Ｓｉ色散元件的研制实例，讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程．这些元件将在Ｘ射线光学和Ｘ射线光谱学的有关研究工作中得到应用．

摘要：本文介绍用直流－射频平面磁控溅射法制备软ｘ射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下，采用计算机定时控制膜厚的方法，严格按照设计周期制备了多层膜样品，并给出了Ｘ射线衍射仪小角衍射的检测结果。

摘要：针对极紫外投影光刻 ( Extreme Ultraviolet Lithography,简称 EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题 ,对 EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择 ,设计了离轴照明方式的 Schwarzschild微缩投影成像物镜。利用基于奇异值分解的牛顿迭代法对敏感矩阵进行分解 ,求出相应失调量的大小 。

摘要：介绍在研制软Ｘ光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分Ｘ光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能，并讨论了膜厚控制误差、表（界）面粗糙度等对性能的影响。

摘要：雷害严重影响配电线路的安全运行,引入敏感因子和易损性指标,提出一种基于信息融合的雷害风险评估方法。首先,从接地电阻、人口密度、杆塔高度、河网密度和坡向5个方面构建雷害风险指标评价体系;其次,引入信息融合的层次分析法,结合灰色、熵权和证据理论,建立雷害关联矩阵,进行综合评估;最后,对某配电线路进行案例分析。研究结果表明,对于雷害的整体趋势,所提方法评价结果与实际结果基本一致,验证了该指标体系的合理性。

摘要：随着矿山快掘设备的逐渐引进,快掘面粉尘污染问题愈加严重。为有效减少快掘面生产过程中的粉尘污染,设计出风流动态调控降尘净化系统,通过调节风流的状态并设计了不同工况下的风流调控方案,以降低司机处粉尘浓度与粉尘的扩散距离。以陕西某矿快掘面为例,建立了风流—粉尘耦合场有限元模型,并对模型进行了井下验证;分析了风流动态调控降尘净化系统中出风口偏角、出风口缩放口径、出风口距端头距离及风量压抽比4个参数对风流与粉尘场的影响规律;设计正交试验分析了各参数与司机处粉尘浓度与粉尘扩散距离之间的关联性,确定了最佳调控净化方案。结果表明:各参数对司机处粉尘浓度与粉尘扩散距离影响程度的显著性排序由大到小依次为风量压抽比、出风口偏角、出风口距端头距离、出风口缩放口径。确定的最佳调控净化方案为出风口距离端头10 m、出风口偏角20°、出风口缩放口径1.0 m及风量压抽比1。设计搭建试验平台进行了准确性及净化效果测试验证,模拟值与试验值的平均误差小于8.91%,净化后司机处粉尘浓度由327.22 mg/m^(3)降低至156.47 mg/m^(3),降低了52.18%,粉尘扩散距离由39.74 m缩短至25.91 m,缩短了34.80%,有效改善了快掘面的空气环境。

摘要：为实现配网混合线路故障的精准定位,提出了一种行波极性判断与单端故障定位提取相结合的方法.首先,基于小波变换模极大值的方法,计算不同区段的行波电流极性,确定故障点所在的区间;接着,仿真计算故障区间内的行波波速,并基于小波变换提取波头时间,实现混合线路的故障定位;最后,在10kV动模试验平台搭建混合线路故障模型,开展不同影响因素的定位精度研究.研究结果表明:当采样频率和故障初相角增加时,定位精度也会逐步增加;故障区段为电力电缆时,定位精度优于架空线路的故障区段;该方法可精准地实现故障定位,具有一定的推广意义.

摘要：Michel Foucault,the French postmodernist,has been hugely influential in shaping understandings of power and *** his opinion,social groups,identities and positions do not pre-exist and somehow determine their own and other cultural meanings. They are produced within discourses which defines what they are and how they operate. In other words,the world is constructed within language. Aided by Foucault's theory of discourse and power,this paper is to present a critical examination of the Greek film Dog Tooth and explore the strength of discourse in making and remaking the world in a particular way.