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非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究
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《红外与毫米波学报》2010年 第4期29卷 251-254页
作者：许路加 胡明 杨海波 杨孟琳 张洁天津大学电子信息工程学院天津300072 
根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构工艺,分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式,从理论上推导了微桥桥腿正应力和热导的解析表达式.分析在其它因素不变的情况下,仅调整Si3N4和SiO2两者厚...
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