摘要：目的研究不同等离子体刻蚀工艺对基体和四面体非晶碳膜(ta-C)的影响,并进一步考察不同电弧等离子体刻蚀时间对ta-C薄膜结构的影响。方法采用自主设计研制的45°单弯曲磁过滤阴极真空电弧镀膜设备,进行不同等离子体刻蚀以及ta-C薄膜的沉积。使用等离子体发射光谱仪表征离子种类及其密度,使用椭偏仪表征薄膜厚度,原子力显微镜表征刻蚀后的基体粗糙度,拉曼光谱仪和XPS表征薄膜结构,TEM分析薄膜的膜基界面结构。结果辉光刻蚀工艺中,作用的等离子体离子以低密度的Ar离子为主;而电弧刻蚀时,作用的等离子体离子为高密度的Ar离子和少量的C离子,并且能够在基体表面形成约15 nm的界面层,并实现非晶碳膜(a-C)的预沉积。随电弧等离子体刻蚀时间增加,ta-C薄膜的sp3含量有所降低。结论相比于辉光刻蚀,电弧刻蚀利于制备较厚的ta-C薄膜。这主要是因为电弧刻蚀时,基体表面形成良好的界面混合层,并预沉积了非晶碳膜,形成a-C/ta-C的梯度结构,有助于增强膜基结合力。

摘要：W-Cu梯度热沉材料具有高热导和低热膨胀系数等特点,使其具有较高的研究价值,并且得到了广泛的应用。主要从成分设计、制备方法、烧结工艺及应用进展4个方面对W-Cu梯度热沉材料的研究展开论述。

摘要：随着稀土材料和摩擦学研究的快速发展,近年来科研工作者开展了纳米稀土润滑添加剂摩擦学性能的研究工作。介绍了纳米稀土作为润滑油添加剂的应用现状;综述了纳米稀土作为润滑油添加剂的摩擦学研究和作用机制;着重指出了纳米稀土添加剂的发展方向。

摘要：电沉积纳米晶体材料具有优异的物理及力学性能,其再结晶组织及织构演变特征与传统的粗晶材料明显不同。对近年来国内外对电沉积纳米晶体材料再结晶行为的研究进展进行了总结。

摘要：传统电沉积技术主要强调材料的装饰性及防腐性,往往忽视了极端电化学条件下电沉积制备技术的开发及应用。本文对极高电流密度和脉冲电流两种极端条件下电沉积技术制备纳米结构材料进行了研究,结果表明:通过调整电沉积工艺参数,可以制备出纳米三维多孔结构材料及块体纳米晶材料。此外,本文还对极端电化学沉积技术制备纳米结构材料的研究应用进行了总结和展望。