摘要：为了实现GPP半导体设备中的全自动上下料方法,该系统采用模块化设计,可便捷地安装于现有加工设备一侧或用于手动设备升级。上下料机构通过横向、纵向电机模组、吸盘、料盒及传感器的精密配合,实现了晶圆的自动取放与传输。控制系统以欧姆龙CP1H可编程控制器为核心,通过内置输入、输出功能及原点功能,确保了上下料流程的稳定与安全。方法上,全自动上下料流程包括取料、传输、放料3个主要步骤,并引入废料剔除功能以应对加工异常。取料过程通过纵向机械手的精确控制实现,传输过程依赖横向电机的准确驱动,而放料过程则需与承片台紧密配合。此外,系统还提供了综合测试功能,涵盖单轴测试与流程测试2个部分,以确保机构与控制系统的性能。通过全自动上下料机构及控制系统的应用,设备的换料周期由传统的25片延长至80~100片,提升了生产效率,减少了人工干预,降低了人工成本,使操作人员能够同时兼顾更多设备。

摘要：在飞针测试前要先进行测试文件转换,CAM软件能够很好地完成这一工作。介绍了CAM软件在飞针测试文件转换中的运用,以PCB设计软件Protel为例,讲述CAM350进行飞针测试文件的转换过程。

摘要：针对激光划切机快速高效的工艺特点,设计基于倍福Beckhoff的PC兼容控制系统。通过高速Ether CAT现场总线技术,确保工作台的高动态性能,满足激光与工作台协同控制技术要求,研究可编程逻辑控制器PLC底层程序与VC顶层程序实现,与激光划切机整机软件相兼容,保证设备的可靠性和稳定性,提高设备的生产效率。

摘要：在连续光和脉冲光的光强检测电路中,使用跨阻放大器(TIA)将输入光电流转换为电压信号输出。对这两种应用的设计原理进行了详细分析和仿真,找出跨阻增益的计算方法,得出连续光的跨阻增益与反馈电阻有关系,而脉冲光的跨阻增益与反馈电容有关系,对实际应用场景提供了理论支撑。

摘要：基于EtherCAT现场总线的运动控制器,设计了一种物料传输多轴运动控制系统,采用经典的PID运动控制算法和模糊自适应PID控制算法,实现了物料的高精度传输和交换。

摘要：以双面飞针测试系统为例,介绍了飞针测试的主要工艺技术,并详细介绍了Z轴机构的设计改进过程。

摘要：PIN型光电二极管由于响应速度快,暗电流低,噪声低等特点越来越多地被应用到位置检测中,如何根据设计需求对光电二极管进行选型很重要。通过分析光电二极管的光灵敏度、暗电流、噪声等效功率和响应速度性能参数,分解光电传感器位置检测系统的设计需求,提出了光电二极管的选择依据。

摘要：以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例,通过观测误差现象,从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因,并提出减小误差的方法和验证方法。从工作台机械系统方面,分析精度误差产生原因,提出设计和选型标准。通过几方面的技术改进提高伺服运动控制工作台的定位精度、重复精度。

摘要：基于四象限光电传感器技术,针对大型半导体物料传输设备的高精度定位需求,设计了一套高精度定位和补偿系统。经过验证,这种基于四象限传感器的定位方法可有效应用于高精度物料传输系统,进行定位并且进行位置补偿后完成物料准确定位传输。

摘要：通过直线电机的伺服控制分析,研究了伺服控制策略;以激光划切工作台为应用平台,针对x向电机位置环进行深入分析来解决实际问题,并根据激光划切机性能指标要求设计xy精密工作台运动控制系统,实现工作台的精密控制。