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一种高精度原子力显微镜的设计及应用
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《中国机械工程》2004年 第21期15卷 1909-1911页
作者:杨学恒 陈红兵 费德国 谢超 靳平 杨惠重庆大学数理学院重庆400044 重庆大学科协重庆400044 重庆工学院材料学院重庆400050 
简述了重庆大学研制的原子力显微镜 (AFM )样机的工作原理和应用 ,重点介绍了其镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏 ,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描 ,有效提高了扫描精度 ,扩大了扫描范围 ,简单适用的微悬...
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