摘要：进一步研究二个问题：（１）理论模拟的方法由快速傅里叶束传播法（ＦＦＴ－ＢＰＭ）改为有限差分束传播法（ＦＤ－ＢＰＭ），并比较了两者的优缺点。（２）模拟设计了对象提高为由ＧｅＳｉ合金单模脊形光波导组成的Ｙ级联１×４光分束器。结果表明，有限差分束传播法比快速傅里叶束传播法及显形有限差分束传播法（ＥＦＤ－ＢＰＭ），除了数学比较容易外，计算速度也快一些。尤其是对传播步长Δｚ的敏感性，有限差分束传播法远没有快速傅里叶束传播法那样严重，便利了束传播法方法的采用。正如束传播法成功地应用于ＧｅＳｉ合金光波导及Ｙ分支器的理论设计，现在用了１×４Ｙ级联分束器同样得到预想的结果。光束在分束器中传播逐步分成二束再分为四束。符合设计要求。

摘要：报道用束传播法（ＰｒｏｐａｇａｔｉｎｇＢｅａｍＭｅｔｈｏｄ）模拟设计、指导硅大断面单模脊形光波导的制备工艺。应用傅里叶交换法计算了硅光波导中导模的传播常数。对实际研制成功的ＳＩＭＯＸ及Ｓｉ／ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ单模脊形光波导，比较了其性能差异并给予理论解释。

摘要：对当前硅光集成技术的热点、制备大断面低传播损耗单模脊形光波导进行了三维理论模拟设计。脊的上覆盖层是空气（大折射率台阶，非对称情况）或纯硅层（对称情况），均能得到符合实际的模拟结果。改变脊形光波导的高宽几何尺寸或折射率分布值，模拟结果呈现单模、双模或更高阶模的电场分布及光强分布。用相应条件指导硅脊形光波导的实际制备，实测结果表明模拟结果是准确的。

摘要：报道用射频加热化学汽相沉积法制备Ｓｉ／ＧｅＳｉ／Ｓｉ大断面单模脊形光波导中设计和工艺的进一步完善。ＧｅＳｉ合金层中Ｇｅ的含量ｘ要满足脊形光波导是单模、光波导的数值、孔径接近单模光纤值、脊高小于临界厚度值等，计算表明兼顾上述三项要求应取ｘ＝１～３％；脊的高与宽受大断面及单模的制约。Ｓｉ的晶体结构使脊的二个腐蚀侧壁是斜坡，为此起始脊宽取５～６μｍ为宜；腐蚀液、抛光液的选取要保证脊侧壁及波导端面的优良镜面。上述设计及工艺优化使光波导的实测性能显著提高，离散性降低。最佳传播损耗已降到０．３ｄＢ／ｃｍ。

摘要：报道锗硅合金在λ＝１．３μｍ的脊形单模光波导的设计、工艺及测量结果．这种光波导的传播损耗已达０．７ｄＢ／ｃｍ．脊形的高４～８μｍ，宽８～１２μｍ，均和单模光纤芯径相当．此外，其数值孔径在光波导的输入、输出端均能和单模光纤匹配，它已满足硅光集成对光波导的要求．文中最后报道了用这种锗硅合金光波导试制Ｙ分支器，并观察到二支分路输出的单模光斑．