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微型石英音叉陀螺模态特性的有限元分析
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《光学技术》2006年 第Z1期32卷 61-63,66页
作者:邓景跃 孙雨南 王莹北京理工大学信息科学技术学院光电工程系北京100081 大连海事大学信息工程学院辽宁大连116026 
MEMS石英音叉陀螺是近年来发展起来的新型惯性器件。在石英音叉的早期设计阶段,为了提供可靠的设计方案,并缩短设计周期,应该对其进行分析模拟。音叉的结构参数至关重要,不仅会影响陀螺的敏感性,还会影响其检测精度和稳定性。本文以U形...
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