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一种电磁力驱动的无阀微泵的气体泵送特性
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《微纳电子技术》2022年 第11期59卷 1177-1183页
作者:祁俊霞 张玉东 徐献忠 邱京江 卫荣汉郑州大学力学与安全工程学院 郑州大学智能传感研究院郑州450001 
基于微流体在锥形通道内流动的非对称性,设计并制作了一种电磁力驱动的扩散管/汇聚管型无阀微泵,该微泵主体部分由嵌有微型线圈的聚二甲基硅氧烷(PDMS)振动膜和含有微米级锥形管的泵体组成。当在微型线圈中通入交流电信号,线圈中会产生...
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