摘要：针对解决倾角仪的校准需求,设计了一套基于视觉系统的倾角仪自动化校准装置。装置以高精度的圆光栅角度编码器为核心,保证整个校准方法的校准准确度;设计一套能够适应各种规格倾角仪不同装夹方式的夹具结构;通过CCD摄像头进行数据采集。该校准方法操作简单、准确度高。最后通过不确定度分析和比对来验证该方法的可行性。

摘要：针对倾角仪、角度编码器的快速、高精密校准需求,提出一种新的校准方法来实现高准确度的全自动校准。采用高精度的圆光栅角度编码器,保证整个校准方法的校准准确度;设计一套能够适应各种规格倾角仪的不同装夹方式的夹具结构;为角度编码器与多面棱体设计了一个通用的三面定位装置,实现对不同被校仪器的通用性。该校准方法具有操作简单、校准准确度高、适用性广泛等优点。

摘要：建立了一种基于Cr原子光刻技术的nm光栅间距比对测量定值方法。以国家自溯源光栅标准物质来建立标准样板校准溯源体系的可行性为基础,保障测量仪器更高精度、可溯源性;设计并制备了节距长度有序递增的多周期电子束直写光栅样板,满足可适配于不同分辨率的nm测量仪器的需求,名义节距值分别为200、400、600、800、1 000 nm。经国家自溯源光栅标准物质比对后的AFM完成对nm栅格标准样板的测量与表征,实验表明:电子束直写制备的光栅标准样板均匀性水平1 nm,相对不确定度低于2%,光栅均具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的光栅标准样板能作为一种理想的实物标准运用于nm几何量量值溯源体系。

摘要：针对高深宽比三维结构无损测量系统的量值溯源难点,开发并设计了最大深宽比为30∶1,宽度为2~30μm,深度为10~300μm的一系列具有循迹结构、可快速定位功能的高深宽比沟槽标准样板。采用计量型扫描电子显微镜(SEM)对制备的高深宽比沟槽标准样板进行参数表征与溯源性分析。结果表明标称宽度2μm、标称深度60μm的高深宽比沟槽标准样板,其实际宽度测量结果为(2.191±0.008)μm,实际深度测量结果为(59.923±0.040)μm。对于标称宽度30μm、标称深度200μm的标准样板,其实际宽度测量结果为(29.721±0.112)μm,实际深度测量结果为(200.343±0.220)μm,并实现了近红外光谱型高深宽比三维结构测量系统高精密的校准。实验结果表明:设计的高深宽比沟槽标准样板是一种理想的高深宽比沟槽标准样板。

摘要：针对大飞机制造和汽车工业的噪声测试需求,结合表面传声器校准的研究现状,研制了表面传声器校准装置。介绍了该装置的工作原理、总体设计方案、主要组成部分和创新点。该装置通过专用静电激励器和声校准器转接器的设计,实现了表面传声器声压灵敏度级的测量。系统结构简单、成本低廉,实现了表面传声器的快速校准,填补了华东地区相关检测的空白。

摘要：随着集成电路制造关键尺寸向着5 nm的节点迈进,我国集成电路检测设备产业化的呼声剧增,纳米位移台作为集成电路制造、超精密加工、精密科学仪器制造等领域检测设备的关键器件,研究人员对其重复定位精度、线性度的要求越来越高。光栅干涉仪以光栅作为标准物质溯源到长度基准,因其对环境因素的变化不敏感、抗干扰能力强、稳定性高的优点,成为微纳检测设备产业化的新方向。采用基于标准物质的光栅干涉仪,针对纳米位移台的重复定位精度、线性度分别设计了不同的校准方案,并通过实验验证方案的可行性,最后对该校准方法的测量不确定度和溯源性进行了分析,可以看出设计的校准方案测量稳定、溯源链短。