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非晶硅薄膜太阳电池生产工艺的优化: 收藏
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引用; 《应用物理》2011年第1期1卷 27-31页; 作者：王彩娜张宁于冬安邱美艳刘自然邹贺祥汉能科技有限公司北京天津市津能电池科技有限公司天津; 在玻璃衬底非晶硅薄膜太阳电池的生产工艺中,第二道激光刻划、溅射AZO背反射膜,溅射Al背电极及第三道激光刻划等工序,对电池板输出功率有着重要影响。本研究通过Minitab软件设计因子试验,针对玻璃衬底非晶硅薄膜太阳电池生产工艺参数进...; 在玻璃衬底非晶硅薄膜太阳电池的生产工艺中,第二道激光刻划、溅射AZO背反射膜,溅射Al背电极及第三道激光刻划等工序,对电池板输出功率有着重要影响。本研究通过Minitab软件设计因子试验,针对玻璃衬底非晶硅薄膜太阳电池生产工艺参数进行优化。试验结果表明,在一定范围内,Al背电极溅射功率对电池板功率影响最大,随着溅射功率的增大电池板功率增加;随着第三道激光刻划电流、AZO背反射膜溅射功率以及Ar流量的增加,电池板输出功率增加;而随着第二道激光刻划电流的增加电池板功率下降。最后得到最佳的生产工艺参数。; 来源：详细信息评论

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